微纳加工

CO-DEVELOPMENT

从一个问题,
走向一份可验证的方案

以模拟仿真与 EBL 设备为研发基础,与材料、工艺、封装及设备伙伴开展面向应用的协同研究。

01 / CO-DEVELOPMENT

让设计与实验,形成迭代

从实际设备的需求出发,把设计假设、工艺条件与测试方法放在同一张任务清单中。

样品测试 · 指标对比 · 联合评价
器件工作原理
01

定义任务

明确目标功能、项目边界与期望交付。

02

仿真研究

结合材料与边界条件比较结构方案。

03

样品试制

依据适用工艺开展图形与样品研发。

04

评价迭代

对照约定指标,确认下一阶段工作。

02 / PRODUCT PORTFOLIO

联合开发研发方向

建模 · 光场分布 · 参数分析光谱计算流程01

设计与仿真研究

围绕结构、光学响应及约束条件开展建模分析。

沟通需求 ↗
电子束扫描 · 抗蚀剂图形写入02

微纳图形研发

依托 EBL 设备,衔接设计与适用配套工艺。

沟通需求 ↗
芯片 · 互连 · 基板 · 封装03

器件联合验证

与伙伴共同确定接口、测试条件与样品评价。

沟通需求 ↗

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